La nano-fabrication de plaques en silicium fonctionnalisées implique des couches ultraminces de résine polymérisées d’épaisseur sub-100nm. A cette échelle, une forte dépendance de certaines propriétés physico-chimiques à l’épaisseur de la couche est observée, due principalement aux forces d’interactions électrostatiques ou aux forces dispersives de London-Van der Walls. Avec le CEA/LETI/DOPT, l’équipe MIP développe une approche expérimentale fondée sur un écoulement nanofluidique permettant de mesurer la viscosité newtonienne de couches allant de 10 à 100 nm. Cette mesure viscosimétrique est basée sur l’indentation de motifs réguliers par pressage d’un moule nanostructuré dans un film de polymère ultramince (nanolithographie) [1]. Nous montrons comment cette technique implique la connaissance en temps réel des modifications nanométriques de la surface libre du polymère et la bonne connaissance de l’effort mécanique exercé sur celui-ci. Elle est conçue pour être particulièrement sensible à la viscosité de la couche mesurée [2]. La reconnaissance topographique du film mince de polymère durant le pressage est acquise par ellipsométrie et microscopie à force atomique (AFM) .
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